螺丝机-等离子处理机-灌胶机-点胶机-焊锡机等离子清洗机（即等离子表面处理机）产生的等离子体装置是在密封容器中设置两个电极形成电场，用真空泵实现一定的真空度，随着气体越来越薄，分子间距和分子或离子的自由运动距离越来越长，受电场影响，等离子体清洗机碰撞形成等离子体，这些离子的活性非常高，它的能量足以破坏几乎所有的化学键，等离子体清洗机在任何暴露的表面引起化学反应，不同气体的等离子体具有不同的化学性能，如氧等离子体具有高氧化性，能氧化光刻胶反应产生气体，从而达到清洁效果；腐蚀性气体的等离子体具有良好的各向异性，以满足腐蚀的需要。使用等离子体处理会发出光，因此被称为光放电处理。
等离子清洗机的优点
- 1、等离子清洗后，清洗对象是干燥，无需再进行干燥处理即可送往下一道工序。可提高整个工艺流水线的处理效率；
2、等离子清洗的使用户能够远离有害溶剂，减少对人体的危害，同时也避免了湿法清洗中容易清洗物体的问题；
3、避免使用三氯乙烷等ODS有害溶剂，以免清洗后产生有害污染物。因此，这种清洁方法属于环保绿色清洁方法。这在全球高度重视环境保护的情况下越来越重要；
4、无线电波范围内高频产生的等离子体不同于激光等直射光。等离子体的方向性不强，使其能够深入物体的微孔和凹陷内部完成清洁任务，因此无需过多考虑被清洁物体的形状。此外，这些困难部位的清洁效果与氟利昂相似甚至更好；
5、使用等离子清洗可以大大提高清洗效率。整个清洗过程可在几分钟内完成，因此具有产量高的特点；
6、等离子清洗机的工作环境易于满足。因此，该装置的设备成本不高，清洗过程中不需要使用昂贵的有机溶剂，使得整体成本低于传统的湿法清洗工艺；
7、采用等离子清洗，避免了清洗液的运输、储存、排放等处理措施，使生产现场易于保持清洁卫生；
8、等离子清洗机可以处理各种材料，无论是金属、半导体、氧化物还是聚合物材料（如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亚胺、聚酯、环氧树脂等聚合物）。因此，它特别适用于不耐热和不耐溶剂的材料。此外，还可以有选择地部分清洁材料的整体、局部或复杂结构；
9、等离子清洗机不仅可以完成清洗和去污，还可以提高材料本身的表面性能。例如，在许多应用中，提高表面的润湿性能和膜的粘附性非常重要。
10、等离子清洗工艺可获得100%的真正清洗，与等离子体清洗相比，水清洗通常只是一个稀释过程，与二氧化碳清洗技术相比，等离子体清洗不需要消耗其他材料，与喷砂清洗相比，等离子体清洗可以处理材料的完整表面结构，而不仅仅是表面突出部分，可以在线集成，无需额外空间，运行成本低，环保预处理工艺。
